HBO Microlithography Lamps for ASML i-line Systems
Vlastnosti produktu
- High spectral intensity with peak irradiance at 365nm wavelength, making it ideal for microlithography
- Designed for long lasting performance
- Qualified with ASML
Druh použití
- Microlithography
Bezpečnostní pokyny
Z důvodu vysoké svítivosti, UV záření a vysokého vnitřního tlaku (pokud jsou horké) je možné výbojky HBO používat jen v uzavřených svítidlech speciálně konstruovaných pro tento účel. V případě prasknutí světelného zdroje se uvolňuje rtuť. Musí být přijata zvláštní bezpečnostní opatření. Více informací je k dispozici na vyžádání nebo v letáku dodaném se světelným zdrojem nebo v návodu k obsluze.
Z důvodu vysoké svítivosti, UV záření a vysokého vnitřního tlaku (pokud jsou horké) je možné výbojky HBO používat jen v uzavřených svítidlech speciálně konstruovaných pro tento účel. V případě prasknutí světelného zdroje se uvolňuje rtuť. Musí být přijata zvláštní bezpečnostní opatření. Více informací je k dispozici na vyžádání nebo v letáku dodaném se světelným zdrojem nebo v návodu k obsluze.
Více o skupině výrobků
HBO lamps > 200W are designed to meet the high demands of the Semiconductor industry. With peak intensity at 365nm these lamps are ideal for microlithography and are designed and qualified for specific equipment manufacturers.
Produkty
| Název výrobku |
|
|
|
|
Formulář údajů výrobku | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
HBO 1003 W/PIL
|
1003 W | 27.1 V | 85,0 mm | 195.0 mm | ||
|
|
HBO 1500 W/PIL
|
1500 W | 23.0 V | 118,0 mm | 273.0 mm | ||
|
|
HBO 2100 W/PIL
|
2100 W | 24.0 V | 118,0 mm | 240.0 mm | ||
|
|
HBO 2500 W/PIL
|
2500 W | 28.0 V | 149,0 mm | 340.0 mm | ||
|
|
HBO 3500 W/PIL
|
3500 W | 23.0 V | 154,0 mm | 360.0 mm |